在工藝研發(fā)階段,芯片設計公司與晶圓廠的合作是一個高度協(xié)同的、系統(tǒng)化的技術開發(fā)過程,目的在于構建一套可量產(chǎn)的、性能可控的制造工藝平臺。
一、整體目標:構建“專屬工藝平臺”
可以將芯片設計公司視為“建筑設計師”,而晶圓廠則是“建筑承包商”。設計公司需要開發(fā)一套滿足其芯片設計要求的工藝流程,而晶圓廠提供“建筑工地”(即產(chǎn)線)和“施工工具”(設備與材料)。雙方通過多輪協(xié)作,共同開發(fā)出一套定制化的制造平臺——即專屬工藝平臺。
二、合作流程分階段詳解
1.?立項與方案制定(需求匹配階段)
芯片設計公司職責:
明確自身芯片的設計需求(如電性能、器件結構、成本、良率等)。
基于對產(chǎn)品的技術規(guī)格要求,構建初步的工藝流程設想。
晶圓廠職責:
提供現(xiàn)有產(chǎn)線能力參數(shù)(如可用材料、工藝節(jié)點、光刻精度等)。
協(xié)助評估設計公司方案的可制造性(DFM)。
目標產(chǎn)出:一份可執(zhí)行的工藝開發(fā)藍圖。
2.?工藝仿真與初步驗證(可行性探索階段)
設計公司:
基于晶圓廠的工藝能力,利用仿真工具對器件結構和制造流程進行建模分析(如TCAD仿真)。
開展初步版圖設計并準備測試芯片結構。
晶圓廠:
提供工藝仿真數(shù)據(jù)與基礎模型支持,協(xié)助調整參數(shù)。
配合完成早期試產(chǎn)計劃的安排。
目標產(chǎn)出:首輪流片的測試設計和驗證計劃。
3.?測試芯片流片(物理實現(xiàn)階段)
設計公司:
提供完整的工藝流程設計文件與測試芯片版圖。
主導功能測試和性能評估。
晶圓廠:
按照雙方協(xié)定流程進行首輪流片,提供測試芯片。
確保試產(chǎn)期間關鍵工藝環(huán)節(jié)可控。
目標產(chǎn)出:第一輪物理樣片及其性能數(shù)據(jù)。
4.?結果分析與迭代優(yōu)化(閉環(huán)改進階段)
設計公司:
對樣片進行電學特性、失效分析、性能偏差分析。
根據(jù)測試結果反復修訂器件結構和工藝參數(shù)。
晶圓廠:
提供過程數(shù)據(jù)、缺陷分析報告,協(xié)助解決良率/一致性問題。
支持反復流片,直至達成性能與制造穩(wěn)定性目標。
目標產(chǎn)出:穩(wěn)定、可復現(xiàn)的工藝流程。
三、技術資料與知識產(chǎn)權分工
芯片公司擁有并編制:
工藝流程文檔(涵蓋每一步工藝條件和參數(shù))。
專屬PDK(工藝設計套件,包括器件模型、DRC/LVS規(guī)則、版圖符號等)。
應用文檔(指導設計部門使用該平臺進行芯片設計)。
晶圓廠擁有:
制造實施能力,但不擁有PDK和工藝文檔的知識產(chǎn)權。
權責在于保密、按協(xié)議執(zhí)行制造流程。
四、協(xié)作機制與技術保護
簽署保密協(xié)議(NDA),晶圓廠不得擅自復制或泄露設計公司提供的專有工藝信息;
工藝知識產(chǎn)權歸屬設計公司,晶圓廠僅負責“制造執(zhí)行”;
費用一般按流片批次或工藝開發(fā)里程碑節(jié)點進行支付。
五、總結類比:打造“私人定制產(chǎn)線”
這一階段本質上是“設計公司定制一條適合自己產(chǎn)品的制造路徑”,晶圓廠則相當于按圖施工。雙方需在工藝開發(fā)上反復磨合,最終達成可穩(wěn)定量產(chǎn)的制造平臺。這一過程的成功,直接影響芯片后續(xù)的性能、良率和成本。
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