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高層對話-2024,專訪迷思科技|迷思科技壓力傳感器的特有工藝

原創(chuàng)
2024/06/17
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迷思科技在展會訪談中介紹了其特有的微創(chuàng)手術(shù)的工藝,微創(chuàng)手術(shù)本來的含義是在人體的體表開一個很小的創(chuàng)口,然后通過導(dǎo)管把醫(yī)療器械深入到人體的內(nèi)部進(jìn)行手術(shù),然后手術(shù)完之后再取出來,這樣的話人體創(chuàng)口縫合比較方便,恢復(fù)期也比較短。我們是在硅片的正面先開一些很小的微孔,然后讓腐蝕溶液從這個微孔進(jìn)入到硅片內(nèi)部,掏出一個比較大的腔體來,然后再把這個微孔進(jìn)行封堵,就像那個醫(yī)學(xué)上的縫合窗口一樣。封堵好之后,在芯片內(nèi)部形成了一個真空腔,在這個真空腔的基礎(chǔ)上再形成壓力傳感器。

迷思科技總經(jīng)理倪藻介紹:“相對于以前的傳統(tǒng)工藝來比的話,迷思科技的壓力傳感器的薄膜可以做到非常薄,可以精準(zhǔn)控制。對于壓力傳感器來說,膜做得薄了就意味著芯片可以同步往下縮小。迷思科技的壓力傳感器的膜可以達(dá)到五六微米,我們最新的技術(shù)TUB功能甚至可以控制到2微米左右,遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于同行的一般的十幾微米的模厚,所以我們的芯片面積也要遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于同行。”

“壓力傳感器是汽車領(lǐng)域傳感器中產(chǎn)值最高的一個品類,迷思科技已經(jīng)在BPS、按摩座椅等方向進(jìn)行布局。另外,公司的壓力傳感器憑借其尺寸小的特征,特別適用在測顱內(nèi)壓、脈象信息提取等醫(yī)療領(lǐng)域?!蹦咴逖a充道。

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